在大多數超高真空系統中進行的烘烤過程可能會損壞溫度傳感器結構中使用的材料。即使傳感器能夠承受較高的烘烤溫度，傳感器的校準也可能發生變化。如果沒有烘烤，傳感器中的一些材料（例如Stycast®）也可能會作為泄漏干擾高真空。各種類型的環氧樹脂和陶瓷可能會產生相當大的放氣，其中一些材料無法在高溫烘烤中幸存下來。采用適當的封裝、二極管、Cernox,  銠鐵和鉑RTD可以容易地用于需要高溫烘烤的超高真空系統中。

在超高真空環境中需要注意的具體因素有：

     在這種環境中使用傳感器之前，檢查傳感器的結構材料與超高真空的兼容性。這包括熱潤滑脂、環氧樹脂和焊料（例如，由于蒸汽壓力，Apiezon®N潤滑脂不能在這些系統中使用）。

     焊料可能不兼容。可能需要焊接。

     低溫電線使用的典型絕緣材料可能與高溫烘烤和超高真空不兼容，原因是熱額定值和放氣。